標題：輪廓儀是測量某點面形高度的儀器分析顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-5-21 22:01:46
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正文:
圓錐面和非球面
以前．非球面的功能是球面的3倍．但是其成本卻是球面的10
～20倍：運用新型加工設備后．其成本變?yōu)榇蠹s是球面的2倍，但
是針對球面的測試方法不能直接應用于非球面。針對長橢球、拋物
面和雙曲面，可以在合適的共軛位置放置球面或者平面進行零位測
試；橢圓體、多項式表達的或自由形式的非球面需要特殊的測試方
法。
設計者應該考慮矢高表中的2～3個點．加工者需要檢
查矢高表中所有的標記與單位尺度是否相符。
對于非球面來說，斜度比矢高更重要。
基于獨立驗證球面面形的3，。卜，蟹·。!或者平面鏡，系統(tǒng)
可設計為非球面面形的補償，這利用普通的干涉儀即可。
計算機生成的全息圖通過衍射可以生成測試波前。因為它可以
通過光刻法生成，并且包含有對準的基準特征，因此，它在實際應
用中比零位透鏡測量方法更加安全。
利用■‘。 0_．：I．!．㈡J{j。_i，可以測量非球面的局
部斜率，而這種方法不是用零位透鏡測量法。
輪廓儀是測量某點面形高度的儀器．并將其沿一條線轉換成輪
廓。接觸式(探針)和非接觸式(光學式或電容式)輪廓儀可對一個表
面進行一條或多條線的掃描。
拼接干涉儀是對多個子孔徑干涉測量獲得的圖像進行拼接，使
得每個子孔徑的干涉條紋都易于分辨，從而在不損失分辨率的情況
下，增加非球面偏離量的測量范圍，此時可以與一些數(shù)控機床相結
合以實現(xiàn)測量。結合亞奈奎斯特采樣與內置處理軟件．人們近期開
發(fā)出了
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科