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標(biāo)題:非球面光學(xué)元件測(cè)量輪廓檢測(cè)顯微鏡

信息分類(lèi):站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2018-5-26 1:43:34 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

非球面光學(xué)元件測(cè)量輪廓檢測(cè)顯微鏡

  非球面光學(xué)元件的特有容差
   表面形狀
  公差指定了實(shí)際加工面形與設(shè)計(jì)或者理論面形的最大允許偏差。

  旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)偏差受所允許的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)不規(guī)則性限制,而非旋轉(zhuǎn)對(duì)
稱(chēng)偏差同樣受限于設(shè)計(jì)允許的整體不規(guī)則性。

    從測(cè)量輪廓可以看出,大梯度的局部偏差受限于局部法
線與理論法線的最大允許角度偏差,這一偏差稱(chēng)作傾角誤差
(或表面正切誤差)。
    在光學(xué)元件圖紙中標(biāo)注這些面形公差的方法。標(biāo)準(zhǔn)中
也定義了公差指標(biāo)的單位和有關(guān)測(cè)量光學(xué)元件的信息,
特別是干涉測(cè)量法。











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