標題：微傳感器含有檢測電阻的電極檢測分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-7-16 1:10:07
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正文:
微傳感器含有檢測電阻的電極檢測分析顯微鏡
氣體傳感器
半導(dǎo)體傳感器通常用于檢測H2、02、酒精和有毒氣體如CO等。家庭內(nèi)CO
檢測器是半導(dǎo)體氣體傳感器最普遍的應(yīng)用領(lǐng)域。典型的氣體傳感器具有敏感
層和敏感基底，被放置在多孔外殼中。敏感層由一層多孔的厚膜金屬氧化物
半導(dǎo)體(MOS)層組成，如二氧化錫(Sn02)或三氧化鎢(WO，)。這一層敏感層
被沉積在微傳感器上，微傳感器含有檢測敏感層電阻的電極和一個可以將敏
感層加熱至200～400。C的加熱器。當金屬氧化物在空氣中被加熱至高溫，
氧氣吸附在其晶體表面，使其帶負電荷，晶體表面的施主電子轉(zhuǎn)移至吸附的
氧分子上，使得空間電荷層帶正電，這形成了電子流的勢壘。當還原性氣體
(如CO或H2)存在時，與吸附的氧氣層發(fā)生催化還原反應(yīng)，從而降低傳感器電
阻。氧化性氣體如二氧化氮(N02)和臭氧(0、)具有相反的效應(yīng)，導(dǎo)致電阻的
增加。電阻變化的大小與待測氣體的濃度相關(guān)，并由傳感器的微結(jié)構(gòu)和基材
的組緲摻雜、敏感層與基底的形態(tài)和幾何特征，以及傳感反應(yīng)發(fā)生的溫度(A
ppliedSensor，2008)共同決定。對于不同的氣體或者不同種類的氣體，可
以通過改變這些參數(shù)來調(diào)整相應(yīng)的靈敏度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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