標題：刻蝕時間烘溫度、粘附力測量顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-10-1 23:18:58
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正文:
一般來說后烘會引起抗蝕劑一定量的收縮，在抗蝕荊和掩膜層的界面
尤為嚴重。這種收縮使抗蝕劑內部產生應力，引起抗蝕荊破碎、裂紋、脆
裂等現象，使其抗蝕性能下降，鉆蝕現象嚴重。因此建議后烘溫度一般應
低于120℃，這樣可避免后烘產生的不利影響。實驗證明在90℃條件下后烘
，抗蝕劑仍然很穩(wěn)定，抗蝕挫也很好。經過太量的試驗已經確認正性抗蝕
劑的典型收縮溫度在110℃左右，這一溫度正好略低于抗蝕劑發(fā)生熱流動的
溫度。當后烘溫度超過125-130℃，抗蝕劑的脆裂、熱流動和化學反應等問
題攪和在一起，給刻蝕后的去膠帶來了困難。5．8抗蝕性能的測量
本節(jié)主要討論影響抗蝕劑與襯底之間粘附力的幾個關鍵因素。后烘是
改善抗蝕劑與襯底粘附力的方法之一。后烘要考慮的第一個問題是后烘溫
度與抗蝕性能之間的關系，用一張簡單的圖表可以表示后烘溫度和常用的
刻蝕劑的抗蝕性能之間的關系，對予鉻和其他掩膜材料來說這種關系可作
為一種示范。樣品的后烘溫度在90～180∞之間，然后將樣品置于鉻或者氧
化鐵的腐蝕液中，或者放在帶有某種刻蝕氣體的等離子休中，刻蝕時間與
常用的瓣蝕時間相同0然后測量抗蝕劑的厚度損失，采用這種方法，羲俯可
以決定采用怎樣的后烘條件以獲得最佳的抗蝕性能。 ’ ：
后烘要考慮的第二個間題是后烘溫度和掩膜層與抗蝕劑間的。結合力
之聞的關系。選擇樣品的后烘溫度為90--'160℃，在濕法或者干法刻蝕中
的刻蝕時間相同，然后測量線寬，獲得后烘溫度與粘附力函數的關系，從
而得到最佳條件。應該看到，鉆蝕情況與后烘溫度、粘附力有著直接的關
系。開始時，粘附力隨溫度增‘加而增加
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科