標(biāo)題：研磨加工顯微幾何形狀和氧化物層分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2020-1-31 23:27:20
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正文:
研磨加工顯微幾何形狀和氧化物層分析顯微鏡
輸出校正的反饋信號(hào)控制研磨加工參數(shù),而利用適當(dāng)?shù)膫?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
感元件來獲取所需的數(shù)據(jù)還有待進(jìn)一步開發(fā)。為了至少部分
地解決這個(gè)問題,人們進(jìn)行了廣泛的試驗(yàn)。這些試驗(yàn)的目的
是要檢驗(yàn)用氮氖激光器來傳感噴砂研磨清理表面質(zhì)量的光學(xué)
系統(tǒng)。
通過改變反射光束偏振度,偏振光能很靈敏地反應(yīng)試樣
表面的顯微幾何形狀和氧化物層的特點(diǎn)。激光技術(shù)的發(fā)展使
得利用激光束獻(xiàn)偏振特性獲得表面特性數(shù)據(jù)成為可能。在試
驗(yàn)過程中,利用波長為0.6328m的線性偏振激光光束照射經(jīng)
過鋼砂、鋼丸和金剛砂噴射清理后的試樣,試樣表面的反射光
束通過半透明的鏡子和兩個(gè)分析器后,被光電二極管探測(cè)\
反射光的偏振度可認(rèn)為是所使用磨料數(shù)量的敏感的定量指標(biāo),因而也就
是表面粗糙度的指標(biāo)但應(yīng)注意到,反射光束的偏振度不僅依賴于表面粗
糙度和氧化物層,而且還依賴于磨料的類型和入射激光束與被測(cè)試樣的
角度,因此用這種方法評(píng)估研磨表面質(zhì)量時(shí)不能給出絕對(duì)值。盡管如此
,偏振度可被認(rèn)為是研磨加工效果的一個(gè)敏感標(biāo)志,因而上面描述的評(píng)
價(jià)方法可以包括在有效控制表面質(zhì)量的系統(tǒng)中�？偟膩碚f,研磨加工表
面質(zhì)量的有效控制系統(tǒng)可描述如下:所需的偏振度P1代表所要求的表面
粗糙度,為一輸入量;實(shí)測(cè)的偏振度P2代表著實(shí)際表面狀態(tài),為一輸出量
。研磨加工的技術(shù)參數(shù)校正信號(hào)由P1與P1的差值P而得出。研磨加工可
按如下程序進(jìn)行:研磨預(yù)處理;表面質(zhì)量評(píng)價(jià);后研磨處理。噴砂研蘑處
理的構(gòu)件表面要分成若干段,按照同程序,噴嘴和激光束要橫掃這些部
位。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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