標(biāo)題：測(cè)量表面輪廓微觀幾何形狀分析顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2020-2-3 7:33:36
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正文:
測(cè)定微觀幾何形狀特性的方法和儀器
為測(cè)定微觀幾何形狀的標(biāo)準(zhǔn)特性，巳創(chuàng)制不少儀器和方法．所采
用的方法幾乎都是按照輪廓來評(píng)定表面幾何形狀的。這種測(cè)量表面構(gòu)
形的方法最費(fèi)時(shí)或是獲得的精度不高，·它主要是在用比較法評(píng)定表
面時(shí)采用。上面曾經(jīng)指出，輪廓包含有整個(gè)表面的數(shù)據(jù)，并能測(cè)定某
些構(gòu)形參數(shù)，而同時(shí)繪制的一些輪廓圖可以評(píng)定表面的立體圖。
用感觸法測(cè)量表面輪廓的缺點(diǎn)是，當(dāng)測(cè)針醫(yī)在被測(cè)表面上時(shí)會(huì)產(chǎn)
生變形，這是因?yàn)樵诮佑|區(qū)內(nèi)產(chǎn)生較大；壓力的緣故。此外，測(cè)針的
端頭具有2—1叫m半徑的圓弧，所以當(dāng)它沿輪廓峰滑動(dòng)時(shí)，便產(chǎn)生輪廓
失真．
在光學(xué)測(cè)量方法中，廣泛采用的是光切法；投影法和干涉法。光
切法就是通過狹縫而形成的光帶P245，角照射在被測(cè)表面上，因?yàn)楸?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
面具有不平度，所以投影可呈現(xiàn)出輪廓的形狀)。該輪廓可以用帶讀數(shù)
裝置的顯微鏡檢測(cè)．整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)稱為雙管顯微鏡，雙管顯微鏡可以
檢測(cè)粗糙度參數(shù)R。．切光法可以觀察較大不平度的形狀和尺寸，但其
分辨能力低
采用投影法時(shí)，用一只鋒利的刀片以60二傾角壓緊在被測(cè)表面上
，光源從刀片的一邊照射時(shí)使其影象投在表面上，該影象即顯示出輪
麻的不平度。輪囀用帶有讀數(shù)裝置的顯微鏡進(jìn)行檢測(cè)
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