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正文:

白光干涉顯微鏡的檢測應(yīng)用

結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉顯微鏡的功能的掃描式白光涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉顯微鏡，不需要複雜光路調(diào)整程序，兼顧體積小，

奈米解析度、易學(xué)用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400μma之微三維量測，適合各種材料與微元件表面特徵尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)堿包含 :

● 晶圓(Wafer)

● 光碟/硬碟 (DVD Disk/Hard Disk)

● 微機電元件(MEMS Components)

● 高密度線路印刷電路板(HDI PCB)

● IC封裝 (IC Package)

● 以及其它材料分析與元件微表面研究。