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正文:

以臨界角法結(jié)合共焦顯微鏡的基本原理，組成一個(gè)具有高解
析度及長(zhǎng)深度量測(cè)的光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，增進(jìn)原有共焦顯微鏡性能，可應(yīng)用于
如光學(xué)表面、生物醫(yī)學(xué)、微奈米…等三度空間影像方面的量測(cè)。預(yù)計(jì)縱向
的解析度約可高于5nm，以及橫向解析度可高于0.3μm，并且其最大位移量
可大于±20μm。

關(guān)鍵詞：共交顯微術(shù)、臨界角

近年來(lái)共焦顯微鏡已經(jīng)成為廣泛被使用的研究工具，在生物醫(yī)學(xué)及半
導(dǎo)體檢測(cè)居于重要的角色，其相關(guān)的應(yīng)用相當(dāng)多，有關(guān)共焦顯微鏡的研究
及應(yīng)用在國(guó)外方面過(guò)去很早就已經(jīng)展開(kāi)了，
1982年英國(guó)的D.K.Hamilton與T.Wilson顯微術(shù)的表面三維測(cè)量技術(shù)；該技術(shù)
是以共焦顯微鏡術(shù)的縱向反應(yīng)曲線極大值，也就是焦平面的位置作基準(zhǔn)，
在掃描樣本表面時(shí)，移動(dòng)樣本的高度使共焦訊號(hào)堡值在極大值，由樣本的
移動(dòng)量就可得知其表面高度的變化�，F(xiàn)今仍有不少科學(xué)家在為共焦顯
微術(shù)找尋新的應(yīng)用方向及提升共焦顯微術(shù)的性能，如結(jié)合鎖相式干涉技術(shù)
(phase-locked展而成的共焦顯微術(shù)，已經(jīng)可達(dá)到奈米級(jí)的縱向解析率；近年來(lái)對(duì)發(fā)表了基于共焦interferometry)