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正文:

掃瞄式電子顯微鏡原理的歷史和原理
1965 年英國(guó) Cambddge 公司首先推出商品化的掃瞄式
電子顯微鏡 (scanning electron microscope,SEM) 問(wèn)世，其后
30 多年來(lái)，SEM 在影像解析度的提昇、操作的容易性、體
積的縮小、電腦化、以及價(jià)格的下降 ... 等等方面，均有長(zhǎng)
足的進(jìn)步。
SEM 主要是用來(lái)觀察物體的表面形態(tài)，它的試片製備
容易，影像解析度極高，放大倍率可輕易達(dá)到一萬(wàn)倍以上
( 而傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡的最高放 大倍率只有 1500 倍左右 ) ，
并真有景深長(zhǎng)的特點(diǎn)，可以清晰的觀察起伏程度較大的物
體，如破斷面。如果加裝 X 光偵測(cè)器，則可作微區(qū)的化學(xué)組
成 分析。此外，尚可偵測(cè)陰極發(fā)光、電壓對(duì)比、電子束引
起電流 (EBIC) 、磁 性對(duì)比 ...等特性。因此 SEM 已是功能
強(qiáng)大、使用非常普遍的材料分析設(shè) 備。

二、掃瞄式電子顯微鏡原理

2.1 SEM 工作原理

SEM 主要構(gòu)造示意圖如圖 6.1 所示。電子槍產(chǎn)生電子

束，而由約 0.2~40 KV 的電壓加速。再經(jīng)過(guò)通常包含三個(gè)電

磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，使電子束聚集成一微小的電

子束而照射至試片表面。掃瞄線(xiàn)圈是用來(lái)偏折電子束，使其

在試片表面作三度空間的掃瞄，并且此掃瞄動(dòng)作，與陰極射

線(xiàn) 管 (CRT) 上的掃瞄動(dòng)作同步。電子束與試片相互作用，

激發(fā)出二次電子與反 射電子，這些電子被偵測(cè)器偵測(cè)到后，

經(jīng)過(guò)訊號(hào)處理放大后送到 CRT ，CRT 上的亮度與對(duì)比則根

據(jù)所偵測(cè)到電子訊號(hào)的強(qiáng)度而調(diào)變。
由于試片表 面任意點(diǎn)所產(chǎn)生訊號(hào)的強(qiáng)度，是一一對(duì)應(yīng)到
CRT 螢光幕上對(duì)應(yīng)點(diǎn)的亮度，因此，試片表面的形貌、特徵 ...
等，可藉由此種亮點(diǎn)同步成像的方式，而 一一表現(xiàn)出來(lái)。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科