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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2012-5-24 0:05:10
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正文:
表面粗度是指表面的起伏程度。例如拋光痕跡(polishing marks)、加工痕跡(machining marks)、在記憶光碟片上的磁性材料顆粒、在silicon wafers上起伏的東西以及經(jīng)過滾壓后所留下的滾輪痕跡……等等。
在此先定義粗度參數(shù):
R q:指Root-mean-square(rms)粗度 =[(1/N)ΣZ i]1/2
N:量測點(diǎn)序號, Z i:N點(diǎn)所對應(yīng)的高度
P-V:指波峰與波谷間的距離
R p:指波峰與平均線間的距離
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