標(biāo)題：光學(xué)量測(cè)方式的優(yōu)點(diǎn)-金相顯微鏡光學(xué)量測(cè)儀器專(zhuān)業(yè)廠家
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2012-11-24 16:15:18
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正文:
用光源的方式來(lái)量測(cè)半導(dǎo)體薄膜厚度，
半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)薄膜品質(zhì)要求越來(lái)越高，因此需要鍍制高品質(zhì)與厚度精確的薄膜；薄膜厚度的量測(cè)方式有很多種，
而光學(xué)量測(cè)是一種非破壞性的量測(cè)方式，最常用于量測(cè)鍍膜的品質(zhì)與厚度，
因此想要設(shè)計(jì)一套簡(jiǎn)易又便宜的光學(xué)量測(cè)儀器，量測(cè)樣品的反射率來(lái)推測(cè)薄膜厚度以及折射率，
目前設(shè)計(jì)出來(lái)的量測(cè)儀器，可以用來(lái)量測(cè)到波長(zhǎng) 400nm~800nm 的反射強(qiáng)度的光譜，所以觀察范圍為 400nm~800nm，
超過(guò)此范圍的收光強(qiáng)度實(shí)在是太微弱無(wú)法量測(cè)，再不同時(shí)間量測(cè)的光譜，所造成的比值介于 1~1.2，
然而 10 分鐘內(nèi)把樣品量測(cè)得到的光譜比值為 0.975，所以為了避免光源強(qiáng)度改變所造成誤差值大小的問(wèn)題，
所以須在 10 分鐘內(nèi)把所有樣品量測(cè)完成，這樣才能縮小其誤差值。為了找出量測(cè)的反射率誤差值，記錄三十組數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
看每次量得之反射率與其平均值的差，觀察到整個(gè)系統(tǒng)的反射率偏移量大約在 2%左右
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/3663.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專(zhuān)業(yè)的供應(yīng)商
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