標(biāo)題：微光學(xué)元件的生產(chǎn)制作-光罩投影精密光學(xué)顯微鏡廠家
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-2-7 2:41:36
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正文:
微光學(xué)元件的制作-精密光學(xué)顯微鏡廠家
我們所使用準(zhǔn)分子激光的加工方式為光罩投影（Projection）
的方式，實驗中采用工件材質(zhì)為PC聚碳酸酯（Polycarbonate），其
折射率為1.586。并以工件相對于激光光束運動進(jìn)行加工，因為加工
形狀與加工深度是由單位區(qū)域受到激光光照射能量與照射次數(shù)所決
定。因此激光光束照射能量的大小與工件相對于激光光束運動快慢
可控制加工深度，當(dāng)工件相對于激光光束運動較快時，其加工深度
就比較淺。所以將改變光罩圖形，激光光束照射能量的大小
（可由激光光能量與衰減器角度控制），激光光束脈衝頻率（Hz），
與工件移動速度等參數(shù)以穫得各種微光學(xué)元件。此外利用光罩圖樣的設(shè)計，
配合工件與光罩平臺的相對運動，也可以獲得特殊的微結(jié)構(gòu)。
而產(chǎn)生此種結(jié)果的原因為層狀加工（layer machining）的特點，加工深度會在原工件的形狀下產(chǎn)生相對的加工深度。
所以加工深度和光罩透光部份區(qū)域呈正比，并且加工截面形狀是光罩透光部份區(qū)域形狀
比例變形，如三角形的光罩可以加工出截面為三角形的溝槽，而半
圓形的光罩可以加工出截面為半圓形的溝槽，各種形狀的光罩可以加工出截面為其形狀的溝槽。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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