標(biāo)題：薄膜測(cè)厚儀量測(cè)實(shí)際加工后之曲線-金相儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-2-10 2:05:51
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正文:
薄膜測(cè)厚儀量測(cè)實(shí)際加工后之曲線--金相儀器
厚線為微直角錐陣列（寬度為 100μm、深度為50μm）之薄膜測(cè)厚儀量測(cè)實(shí)際加工后之曲線，
而薄線為電腦加上去之理論曲線，經(jīng)過(guò)電腦運(yùn)算，其平均誤差值為
5.3244μm，而誤差值會(huì)如此大，應(yīng)該是在加工上，在光罩有尖角的
地方會(huì)有相當(dāng)程度的誤差，由圖可看出此在有角度的地方，加工后
卻成為圓滑的曲線，這是尖端點(diǎn)有激光加工 PC 后殘馀物堆積之故，
而此為準(zhǔn)分子激光加工上的缺點(diǎn)。
，厚線為微透鏡（寬度為 215μm、曲率半徑為 250μm）之薄膜測(cè)厚儀量測(cè)實(shí)際加工后之
曲線，而薄線為電腦加上去之理論曲線，經(jīng)過(guò)電腦運(yùn)算，其平均誤
差值為 1.1036μm，因?yàn)槲⑼哥R為圓滑之曲線，
故加工上沒(méi)有尖角
的問(wèn)題產(chǎn)生，同樣如上，只是為微透鏡（寬度為 43μm、曲率半徑為 50μm）而已，也經(jīng)過(guò)電腦運(yùn)算，
其平均誤差值為0.1879μm。厚線為微透鏡（寬度為 50μm、曲率半徑為 25μm）之薄膜測(cè)厚儀量測(cè)實(shí)際加工后之曲線，
而薄線為電腦加上去之理論曲線，也經(jīng)過(guò)電腦運(yùn)算，其平均誤差值為 1.9479μm。
所以我們可以算出，半圓形光罩加工之微透鏡平均誤差值似乎比上述圓弧形光罩加工之微透鏡大很多
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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