標(biāo)題：加工表面粗糙度檢測(cè)坐標(biāo)測(cè)量萬(wàn)能工具顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-2-17 16:46:13
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正文:
加工表面粗糙度檢測(cè)
薄膜測(cè)厚儀（α-stepper ）
粗糙度為表面上所有細(xì)小不規(guī)則之組織，可能是生產(chǎn)過(guò)程中，
由于激光光刻的能量輸出并不連續(xù)所產(chǎn)生，目前使用范圍最廣、最
普遍的表面量測(cè)器，首推電子探針式之薄膜測(cè)厚儀，故也可利用薄
膜測(cè)厚儀來(lái)作粗糙度的分析計(jì)算，以薄膜測(cè)厚儀的數(shù)據(jù)作為實(shí)際加
工曲線，另外以下面的兩種方法作分析取其數(shù)據(jù)作為我們量測(cè)數(shù)據(jù)
的基準(zhǔn)中心線，然后將其實(shí)際量測(cè)線與基準(zhǔn)中心線相減的誤差值取
其絕對(duì)值，對(duì)其誤差值作平均，可得此曲線之算數(shù)平均粗糙度值
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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