標(biāo)題：電阻顯微鏡有量測(cè)時(shí)間長(zhǎng)等應(yīng)用上的不足-材料金相儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-3-9 0:59:11
將本頁加入收藏
下一篇：電子顯微鏡分析細(xì)胞組織的吸收、散射等光學(xué)性質(zhì)
上一篇：電子元件分析的工具簡(jiǎn)介-掃描顯微鏡溫度解析度約0.5℃
點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--
---
---
---
正文:
電阻顯微鏡有量測(cè)時(shí)間長(zhǎng)等應(yīng)用上的不足
掃描電阻顯微鏡
掃描電容顯微鏡可以作為定性的多維載子濃度影像的動(dòng)態(tài)觀察與分析，但是其定量分析上的準(zhǔn)確度及精確性，
則有其先天的困難度；主要是由于使用掃描電容顯微技術(shù)時(shí)，探針下的氧化物（介電層）的品質(zhì)及厚度的控制不易。
掃描電阻顯微技術(shù)則可以作為多維載子濃度影像的動(dòng)態(tài)定量觀察，因?yàn)榇思夹g(shù)是將導(dǎo)電探針刺穿半導(dǎo)體試片表面氧化層，
直接量測(cè)與試片背面的電極之間的電阻，因此沒有氧化物干擾的因素，但卻是一種破壞性的量測(cè)技術(shù)。
掃描電阻顯微技術(shù)，可以準(zhǔn)確地動(dòng)態(tài)定量觀察多維載子濃度及分佈影像，而量測(cè)出有效閘極長(zhǎng)度(effective gate length)，
觀察分析到瞬間增益擴(kuò)散效應(yīng)(transient enhanced diffusion effect, TED) 。
如表一所示，由于掃描電阻顯微技術(shù)是一種破壞性的量測(cè)，加上使用較昂貴的導(dǎo)電鉆石探針，
探針壽命短且量測(cè)時(shí)間長(zhǎng)等應(yīng)用上的缺點(diǎn)，使得結(jié)合掃描電阻及掃描電容兩種顯微技術(shù)成為實(shí)際應(yīng)用上較可行的方式。
因?yàn)閽呙桦娮栾@微技術(shù)不受偏壓影響，具有定量的精確度，
所以可以在掃描電容顯微量測(cè)后，針對(duì)特定的點(diǎn)或線，作掃描電阻顯微量測(cè)，以提供定量的校正曲線。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4028.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商