標(biāo)題：非光學(xué)顯微鏡簡(jiǎn)介-觀察塑膠封裝積體電路元件

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2013-3-24 22:21:41 將本頁加入收藏

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正文:

非光學(xué)顯微鏡簡(jiǎn)介-觀察塑膠封裝積體電路元件

超聲顯微鏡技術(shù)可把集成電路元件的虛擬複制體按原始的型態(tài)儲(chǔ)存起來。

虛擬樣品是以檔形式存在CD或硬碟上的。如果是原始新樣品本身或在新裝配生產(chǎn)過程中發(fā)生失效，

虛擬樣品可用來檢測(cè)原始樣品的狀態(tài)，尤其是分析元件內(nèi)部失效發(fā)生的部位。

超聲顯微鏡通過換能器把脈衝超聲送入元件并搜集反射回來的回聲信號(hào)，換能器以線條的形式對(duì)元件進(jìn)行掃描，也就是換能器掃過元件一條線后，移動(dòng)一位置再掃描回去，在掃描過程中，換能器接收到千千萬萬X-Y定位的回聲信號(hào)，脈衝發(fā)出與接受回聲信號(hào)之間所閒隔的時(shí)間只有幾個(gè)微秒，從X-Y定點(diǎn)收到的一個(gè)回聲信號(hào)就成為超聲圖像的一個(gè)像點(diǎn)。

大多數(shù)超聲圖像限制在元件內(nèi)部某一特定深度，例如，一塑膠封裝積體電路元件的晶片表面上如有分層，一個(gè)時(shí)間視窗將用來只是接收從封裝材料與晶片上表面之間介面反射回來的回聲信號(hào)，而在時(shí)間窗口之前或之后的回聲信號(hào)就都忽略掉了。當(dāng)你只想得到晶片表面的圖像時(shí)，從銀膠層反射回來的信號(hào)就可被排除在圖像之外。

雖然X-Y每一定點(diǎn)都有大量的回聲信號(hào)，而在多數(shù)超聲圖像中，每一掃瞄線上的每一點(diǎn)只有一個(gè)回聲信號(hào)被接收并在普通(平面)超聲圖像顯示出來。這個(gè)信號(hào)也就是所要深度具有最大振幅的信號(hào)。

為獲得元件的一個(gè)虛擬樣品，需用換能器掃描元件，還要把X-Y每一定點(diǎn)的所有深度的所有信號(hào)都要收集并儲(chǔ)存起來。元件也可以通過遞增掃描深度的方式對(duì)元件進(jìn)行多次掃描。元件也可用較大的時(shí)間窗口來包含元件的整個(gè)厚度，但大的時(shí)間視窗會(huì)成信號(hào)歪曲，而不能獲得具有完全價(jià)值的虛擬樣品。

當(dāng)元件以遞增深度掃描幾次時(shí)，每個(gè)X-Y定點(diǎn)就建立起有序的回聲信號(hào)。定點(diǎn)上的大量回聲信號(hào)可用波形來表示。以遞增深度的方式掃描元件就可得到每一X-Y定點(diǎn)的波形。當(dāng)包含元件的整個(gè)面積所有定點(diǎn)和定點(diǎn)的所有深度都被掃描后，

就可得到一個(gè)含有整個(gè)元件三維立體超聲資訊的虛擬樣品檔。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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