標(biāo)題：對角線測量工具顯微鏡-金相分析儀器廠家
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-4-17 21:05:29
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正文:
較于激光干涉儀直接測量各種幾何誤差量，由Charles Wang提出 之激光向量測量(laser vector measurement)
屬于一種間接測量機(jī)臺幾何誤差的方法。此方法使用激光干涉儀進(jìn)行分段對角線測量
(step diagonal measurement)，亦即針對機(jī)臺工作空間內(nèi)的四條體對角線，
測量機(jī)臺移動過程中之定位誤差。比起激光干涉儀，激光向量法只需要進(jìn)行四次分段對角線測量，
即可計算定位誤差、真直度誤差與垂直度誤差，因此大幅縮減測量機(jī)臺誤差前系統(tǒng)架
設(shè)所花費(fèi)的時間。雖然激光向量測量法的理論推導(dǎo)中不考慮角度誤差，但比起其他九個幾何誤差量，
角度誤差相對而言很小，一般忽略角度誤差并不會對誤差補(bǔ)償造成太大的影響，
所以激光向量法不失為校正機(jī)臺幾何誤差的好方法
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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