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正文:
機械加工材質(zhì)顯微結(jié)構(gòu)檢測
顯微鏡
在光學(xué)元件的研究上,許多新式制造微透鏡與繞射陣列元件的方法,已陸續(xù)被發(fā)展出來,
如化學(xué)能:熱熔法(reflow)、熱壓法(hot embossing)、微液滴法(micro droplet)、灰階光罩法(gray-level mask)、
LIGA制造法(Lithographie Galvanoformung Abformung)以及紫外光成型膠法(UV curing glue)等;
光熱能:雷射加工(laser beam)、離子束(Ion beam)與準(zhǔn)分子雷射加工(excimer laser)等;以及機械能:
超精密車削、銑削、刮削、研磨等。不同能量之制造,其移除材料速率會有不同,
其中,以機械能加工材料選擇性較高,且加工精度也相對高,配合單晶鉆石刀具的使用,
藉由其高複寫性(duplication),將光平的刀具刃邊複制于元件或模具表面,可達高尺寸精度、高形狀精度與極佳的表面
粗糙度。
鑑此,對精微及超精微工具機的開發(fā)皆相當(dāng)重視
紛紛設(shè)計出多功能的工具機,主要應(yīng)用于開發(fā)制造超精密、複雜且微小的模仁、元件或零件
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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