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標題：光學式測量儀和探針式測量顯微鏡的原理簡介

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正文:

光學式測量儀和探針式測量儀器的原理簡介

低成本三次元觸發(fā)式量測探頭，探頭前端的球狀探針是利用放電加工機以線放電研磨法制作而成，其直徑小于 100微米。

研究采用碳化鎢（WC）為材料的探針。實驗結(jié)果表明，前端圓球的真圓度可達3微米。

由于尖球不容易用肉眼觀察，我們設(shè)計了一個顯微影像系統(tǒng)觀察即時探測。該系統(tǒng)是利用商業(yè)攝像頭和顯微物鏡所設(shè)計而成。

一般傳統(tǒng)三次元量測探頭，是將探針與懸吊機構(gòu)結(jié)合。當探針和工件接觸后，藉由懸吊機構(gòu)的運動做為觸發(fā)之判斷依據(jù)。

但利用微細放電加工機所制作之探針，相當脆弱且探球之針柄相當細，當此探針和工件接觸后，

針柄易彎曲變形造成量測之誤差，甚至造成探針端裂。因此本專題設(shè)計一電路來進行觸發(fā)量測，

設(shè)計原理是讓電晶體永遠保持導通，當探針和工件接觸后，就如同開關(guān)一樣，使迴路之電阻導通，

進而擷取電阻之電壓值作為觸發(fā)判斷之依據(jù)。由于讓電晶體永遠保持導通，可以避免探針和工件接觸時，瞬間產(chǎn)生能量過大而造成誤差。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4239.html 　
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