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標題:高解析度的設(shè)計專業(yè)研究金相顯微鏡-輔助工具

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-7-23 14:04:38 將本頁加入收藏

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正文:

高解析度的設(shè)計專業(yè)研究金相顯微鏡


雖然掃描探針顯微鏡能夠具要原子級解析能力的關(guān)鍵之一,是在于應(yīng)用壓電陶瓷材料為作定位平臺的驅(qū)動器, 

使得在定位方面可以有較高的解析度,但是高解析度與長行程卻是相反的設(shè)計考量, 

所以掃描探針顯微鏡只應(yīng)用壓電平臺而無其他的輔助工具,在試樣的準備上就必須要先將欲掃描區(qū)域 
切割成符合壓電平臺X、Y 軸行程的范圍,而這個范圍為50 μm 到200 μm 的正方格,是頭發(fā)的0.5 倍 
至2 倍,在試樣條件上,這是一個嚴苛的條件,在實際的工業(yè)應(yīng)上, 
也將是一個非常嚴重的致命傷,所以加入長行程定位平臺是要其相當?shù)谋匾?nbsp;

長行程定位平臺的基本功能,就是要有定位(Positioning)的效果,也就是要能夠?qū)⒃嚇踊蛱结槪?nbsp;

與參考目標的相對位置之距離差保持一定,但是在實際的應(yīng)用上,定位的誤差是會受到很多的環(huán)境因素, 
或是本身設(shè)計因素考量的影響,所以針對應(yīng)用于掃描探針顯微鏡而言,定位平臺系統(tǒng)的解析度與定位平臺的工作行 
程,是設(shè)計整體長行程定位系統(tǒng)重要的條件,然而隨著定位平臺的行程越大, 

由于誤差的累積,定位平臺所能達到的定位精度就會大幅的降低,自然就會影響到系統(tǒng)的解析度; 
另外要達到高解析度的設(shè)計考量,更精密的位置感測器、位置閉回路控制與嚴格的環(huán)境要求是必要的 










出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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