標(biāo)題：利用SEM拍攝微流道深度金相結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-8-24 16:26:35
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正文:
利用SEM拍攝微流道深度金相結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)
利用SEM所拍攝典型的微流道深度金相，微流道深度值同樣是利用SEM 直接量測(cè)。
分別列出在固定掃描速度(10mm/s)及頻率(1KHz)制程參數(shù)下，相關(guān)制程之微流道深度曲線圖。
除電流9A及頻率3KHz制程參數(shù)未能量測(cè)出微流道深度之外，
微流道深度均隨著頻率的增加而逐漸加深。其原因主要是因?yàn)楫?dāng)頻率較低時(shí)，其開(kāi)啟遮板使激光
束達(dá)到基材表面的次數(shù)遠(yuǎn)低于頻率較高之制程參數(shù)。
因而當(dāng)搭配在同一掃描速度之制程參數(shù)時(shí)，在單位時(shí)間及單位距離內(nèi)，若頻率為3KHz，
每一個(gè)脈沖激光光斑，其圓心距離相距為1 個(gè)單位距離，則同樣的條件
下，頻率為1KHz 時(shí)其圓心距離將相距為3 個(gè)單位距離。
以本研究之制程參數(shù)為例，S:10mm/s, C:10A,F:1KHz 制程其激光光斑圓心距離為10μm，S:10mm/s,
C:10A, F:2KHz 制程其圓心距離則縮小為5μm，而S:10mm/s, C:10A, F:3KHz 制程其圓心距離更縮小為
3.3μm，因此利用脈沖式激光制備微流道時(shí)，
頻率較低之制程將因其光斑重疊率太低，以致于其反應(yīng)之深度大多決定于單一脈沖激光所能反應(yīng)之深度，
而頻率較高之制程將因其光斑重疊區(qū)域高，使得其深度是由上一次的脈沖激光反應(yīng)深度之后，
加上部份再一次的脈沖激光所產(chǎn)生之反應(yīng)深度，故微流道深度隨著頻率的增加而變深
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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