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標(biāo)題:電池制程檢測金相顯微鏡-利用網(wǎng)版涂布制作金屬電極

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時間:2013-9-20 22:00:30 將本頁加入收藏

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電池制程檢測金相顯微鏡-利用網(wǎng)版涂布制作金屬電極

硅晶太陽能電池制程中利用網(wǎng)版涂布的方式制作金屬電極,傳統(tǒng)一次
涂布電極寬度較寬,電極座標(biāo)系與芯片座標(biāo)系對位精度可容許有較大誤
差。為了提升電池光電轉(zhuǎn)換效率,發(fā)展兩次電極涂布制程,將原有較寬的
電極變窄,但截面積需與一次涂布時相同,甚至增加,以讓足夠的電流通
過。制程改變后,兩次涂布電極輪廓對位誤差將是轉(zhuǎn)換效率提升的關(guān)鍵因
素,本研究的目的為兩次電極涂布誤差補(bǔ)正方法與流程的探討,發(fā)展軟件
分析芯片座標(biāo)系與電極座標(biāo)系間的誤差,并發(fā)展兩座標(biāo)系間誤差補(bǔ)正的方
法,使得兩次涂布電極座標(biāo)系的誤差達(dá)到允許范圍內(nèi)










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