標題：專業(yè)應用于量測塊材材料性質的儀器設備門市-金相分析
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-9-24 17:20:35
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正文:
專業(yè)應用于量測塊材材料性質的儀器設備門市-金相分析
例如：化學氣相沉積、物理氣相沉積、高溫爐 管或電鍍，都顯示其潛在的
非均勻性，導致整片基板的薄膜厚度、殘留應力及材料性質分布有所差異。
薄厚膜材料除了重視電的性質外，熱與力方面的材料性質則是攸關制程成敗
或元件系統(tǒng)特性的 關鍵要素，尤其是應用在微結構的制作上。
雖然已有許多用來量測塊材材料性質的儀器設備及方 法，但這些卻不見得適
用于薄厚膜材料的量測，即使目前使用在薄厚膜材料的儀器，所用的方法也不
見得簡易方便，試片的準備也大費周章，而且大部分需使用到昂貴的儀器及特
殊之周邊輔助治具。
雖然對于如何量測薄厚膜材料性質的研究及文獻記載有相當多，然而由文獻中
發(fā)現，若要對一 種材料同時進行其數種性質量測及行為觀察分析，這樣的測
試方法及儀器卻十分稀少。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科