標題：利用金相顯微鏡測試結構乃利用簡單的面型加工犧牲層法
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-9-25 17:23:09
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正文:
測試結構乃利用簡單的面型加工犧牲層法制作，可同時與元件成形在同一基板
上，監(jiān)測薄厚膜 材料之性質(zhì)，而且僅占基板空間上非常小的區(qū)域。主要是構思
出整個量測模組之架構及操作 方式，針對加熱器及試片治具進行設計、分析與
制作，完成整個量測模組的組合安裝，之后設計及 制作測試結構，并進而進行
薄厚膜材料性質(zhì)之實驗量測
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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