標(biāo)題：電源測(cè)量?jī)x器-金屬材料或元件特征分析工具顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-10-25 17:28:44
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正文:
進(jìn)行任何材料或元件特性分析，非常需要能執(zhí)行精準(zhǔn)直流、交流阻抗、超快速 I-V 或
脈沖 I-V 的量測(cè)能力。從測(cè)試設(shè)備到半自動(dòng)或手動(dòng)探針臺(tái)的復(fù)雜接線，可能使晶圓準(zhǔn)
確量測(cè)不容易達(dá)到。本文探討直流、多頻電容、超快速 I-V 和脈沖測(cè)試的接線技術(shù)，
以及說明適當(dāng)接地和屏蔽的重要性、針對(duì)特定量測(cè)選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)接，和常見轉(zhuǎn)接問題的
解決。
直流量測(cè)的配線
了解待測(cè)訊號(hào)的大小較容易推定可能誤差源。為簡(jiǎn)單起見，假設(shè)所有待測(cè)信號(hào)既不是
高電壓（即，大于 100V）也不是大電流（大于 200mA）。那誤差來源就可分為三類：
泄漏電流，靜電干擾和機(jī)械效應(yīng)。
泄漏電流
所有流過非預(yù)期路徑的電流，例如流經(jīng)轉(zhuǎn)接器的絕緣體。當(dāng)待測(cè)物的阻抗大小近似于
電路上各種絕緣體時(shí)，泄漏電流就會(huì)形成量測(cè)問題。使用具有鐵氟龍或聚乙烯高阻值
絕緣體的高品質(zhì)電纜是最簡(jiǎn)單的解決方法。較好的電纜同時(shí)較能減少電介質(zhì)吸收的效
應(yīng)，其也是絕緣材料的一項(xiàng)功能。
盡管使用有品質(zhì)電纜對(duì)減少泄漏電流大有幫助，總是還不太足夠。重要的是要
了解當(dāng)一般像電源量測(cè)單元(SMU)的直流儀器，經(jīng)由同軸電纜連接到待測(cè)物時(shí)將會(huì)發(fā)
生甚么狀況。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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