標(biāo)題：鐵矽合金試片光學(xué)特征微觀結(jié)構(gòu)金相顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-11-16 21:08:50
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正文:
具有半導(dǎo)體性質(zhì)的鐵矽化物(β-FeSi2)在近十年獲得了很大的注意，
它具有0.8 eV的直接能隙，可以發(fā)出波長約1.54 μm的光，
可應(yīng)用于合成矽基材料的紅外線發(fā)光元件(IR-Light emitting device, IR-LED)
或紅外線感測器(IR Sensor)。
本研究利用反應(yīng)式磊晶法在矽基材上生長納米尺寸的鐵矽化物，
并探討不同結(jié)構(gòu)的鐵矽化物對其光學(xué)性質(zhì)的影響。研究結(jié)果顯示，
于基材溫度400℃時為β-FeSi2及γ-FeSi2共存，基材溫度500、600、700℃
時為β-FeSi2、γ-FeSi2及α-FeSi2共存，PL的量測中在波長為1614 nm及1655 nm處有波峰出現(xiàn)
。
此外，利用納米球微影技術(shù)，在矽基材上制備二維規(guī)則排列之圖案化氮化矽模板，
藉由此模板成長鐵矽化物納米點(diǎn)陣列，并探討不同結(jié)構(gòu)的鐵矽化物納米點(diǎn)陣列
對其光學(xué)性質(zhì)的影響。研究結(jié)果顯示，于基材溫度500、600℃時為β-FeSi2，
基材溫度700℃時為α-FeSi2，PL的量測中在波長為1615 nm及1654 nm處有波峰出現(xiàn)，
峰值的半高寬相較于先前所提之文獻(xiàn)所量測出的值小，
表示利用此種制程??方法所生成之β-FeSi2的納米結(jié)構(gòu)，
推測由于尺寸效應(yīng)可以得到較佳之光學(xué)性質(zhì)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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