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正文:
檢查零件內(nèi)表面光潔度的顯微干涉
輪廓儀在顯微干涉輪廓儀里,
狄縫成像在被檢表而土,這就使我們不僅可以檢查有不規(guī)則加工痕跡
的表面,而且便于圓柱表而的檢查。實際上如果狹縫像平行于圓柱母
線,則儀器視場中看到直條紋,其寬度是不變的,與圓柱直徑無關。
特別有價值的,是顯微子涉輪廓儀還可以用來檢查光潔度等級高的內(nèi)
圓柱表面,過去,沒有檢查內(nèi)圓柱表面光潔度的儀器,只能對主要零
第一臺檢查內(nèi)表面的顯微干涉輪廓儀,是一臺試驗裝置,它不采
用邁克爾遜干涉系統(tǒng),而是用三物鏡系統(tǒng)(即用于干涉指示儀中的系
統(tǒng))。這種系統(tǒng)使我們可以采用任意高倍數(shù)的顯微物鏡,此外可避免
一支光束倒轉(zhuǎn)。但是這種儀器還是有缺點:結(jié)構復雜,干涉圖樣的穩(wěn)
定性較低,因為光學零件隨著使用時間延續(xù)不可避免地要傾斜,結(jié)果
使干涉條紋對比度降低,因此必須進行周期調(diào)整。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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