標(biāo)題：高于120X的放大倍數(shù)就適合采用電子顯微鏡(SEM)
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作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-6-4 17:13:41
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正文:
高于120X的放大倍數(shù)就適合采用電子顯微鏡(SEM)
一般而言，對高于120X的放大倍數(shù)，常采用掃描電子顯微鏡(SEM)，因為它
有較大的景深和較高的清晰度。遺憾的是，SEM觀察只能給出黑白圖像。
元件(用于SEM)在觀察期間通常處在真空室內(nèi)，不便于電參數(shù)測量。為了克
服這些困難，我們利用了高放大倍數(shù)的電子顯微鏡和探測臺。進(jìn)行集成電路
(IC)故障分析時，將封裝(陶瓷封裝或塑料封裝)打開，露出芯片，便能對整
個集成電路進(jìn)行觀察、照相和探測。找出集成電路每個部分的輸出.這是采
用高放大倍數(shù)電子顯微鏡的主要原因。
這類顯微鏡有一些細(xì)微差別。機(jī)械圓筒的長度較長、185~250mm)，以便
放置反射照明器具。物鏡也未對山使用樣品切片的玻璃片(它是標(biāo)準(zhǔn)透射光
型顯微鏡放置樣品切片所必需的)引起的球面像差進(jìn)行校正。在大多數(shù)情況
下，電子金相顯微鏡上的物鏡具有不同的螺紋尺寸，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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