標題：顯微機械加工,電路制造微加工品質(zhì)檢測圖像顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-6-14 3:49:53
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正文:
顯微機械加工,電路制造微加工品質(zhì)檢測圖像顯微鏡
顯微制造與微型電鑄
顯微制造或者說顯微機械加工(micromachining)是從半導體
器件生產(chǎn)到集成電路制造一直在采用的高新技術。在微電子技術時
代，顯微制造已經(jīng)是不可或缺的現(xiàn)代加工技術。但是，我們以往所
知道的顯微制造，最多的還是顯微光刻和顯微蝕刻，而很少聽說微
型電鑄。但是，在微型機器人等微型器件的研制進人實用化以后，
微加工技術中的微型電鑄很快成為一個重要的加工方法。這種方法
實際還是在微蝕方法的基礎上發(fā)展起來的微加工方法
微型電鑄技術的應用最早可追溯到20世紀70年代末，德國卡
爾斯魯厄研究中心(FZK)當時開發(fā)出了稱為LIGA(德語
Lithographie Galvanoformung Abformung，制版電鑄成型)的微電
鑄技術。這是在涂覆有聚甲基丙烯酸甲醋膜(PMMA)的基片
上以高能X射線進行光刻制成掩模圖形后，進行電鑄加工成型的
方法。所用的電鑄液為鎳電鑄液。完成電鑄后，將PMMA除去，
使電鑄成型體裸露出來，從基板上取下，即為電鑄成品。
這種微加工技術當初是為了研制光導纖維連接器和光導開關而進
行的工藝技術開發(fā)�，F(xiàn)在己經(jīng)發(fā)展成為微加工制造中的重要加工方法。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/5732.html
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