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正文:
光學(xué)儀器制造-
顯微鏡裝配有多個透鏡的鏡筒
像差補償技術(shù)一個非常重要的方面就是在調(diào)整期間提供實時
測量像差的
方法。給出了一般的測試設(shè)備,包括一個裝配有多個透鏡的鏡筒,其中三塊
透鏡作為像差補償器。這些透鏡放置在標(biāo)有“檢查孔”的軸向位置處,由兩
個測微計馭動的正交推桿穿過這些孔,使可移動的透鏡/鏡座相對于其它透
鏡做橫向移動。在測微計運動平面內(nèi)對稱設(shè)置第三個孔,安裝一個彈簧形成
恢復(fù)力。這種設(shè)計使測微計基本上是以一種簡單的“推,拉”模式運作。需
要注愈的是,在其它一些對準(zhǔn)裝置中,是使用壓電致動器提供調(diào)整運動。
鏡筒夾持在一個V形塊上,依次又安裝在一臺干涉儀中(未畫出),通常是使
用相位干涉測址技術(shù)。可以使用干涉儀評估每塊透鏡移動對整個性能的影響
。正如前面所述,通過連續(xù)的近似調(diào)整可以實現(xiàn)最佳性能。如果達到了系統(tǒng)
的最佳性能,就用某種內(nèi)部機構(gòu)(未畫出)將可移動透鏡鎖定到位以保持對準(zhǔn)
,然后將檢查孔密封,使?jié)駳夂团K物不會進人。
為了使某些高性能物鏡組件,包括表示的組件性能得到進一步優(yōu)化,除
了對其它的補償器進行橫向調(diào)整外,對一個或幾個透鏡/鏡座部件沿軸向做
些小量移動也是必要的。在此,采用將帶螺紋的鏡座旋進鏡筒螺紋中的方法
(類似于某些物鏡或目鏡的調(diào)焦)實現(xiàn)物鏡的軸向移動是不實際的,因為即使
設(shè)計成差動螺紋.螺紋的牙也太粗,不可能與機械軸同心。此外,由于光學(xué)
和機械零件中殘留的楔形缺陷,可能會影響到光學(xué)零件的同軸度,以及使像
差變大。所以,在進行軸向調(diào)整時,鏡筒一定不能繞著它們的軸轉(zhuǎn)動。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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