標題：計量光學(xué)儀器-使用三坐標測量儀測量表面高度
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-7-18 22:43:56
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正文:
波紋度是中等空間頻率范困內(nèi)的相關(guān)參數(shù).所以.測傲表面精度的計量裝置
要求具有較高的空間分辨率以確定波紋度以及需要大的測量范圍以測量粗糙度。
一般地.當今的計量設(shè)備是沿著兩條相反的需求路線發(fā)展:成像計量系統(tǒng)設(shè)計有
高分辨率相機和掃描計量系統(tǒng)需要更為復(fù)雜的長度規(guī)(分劃尺)。比較和檢驗計
量儀器的一種良好方法是所謂的A- W圖表，有時稱為斯特德曼(Stedman)
圖，該圖表繪制出表面波長對數(shù)與表面高度對數(shù)的曲線，該圖所涵蓋的面
積表述一臺計量儀器的可利用范圍。
計量設(shè)備的另一種分類方法是依據(jù)數(shù)據(jù)采集方式:以連續(xù)模式采集測量點的
掃描系統(tǒng)和以并行方式采集數(shù)據(jù)點的成像系統(tǒng)。對掃描類表面計量系統(tǒng)，待淵樣
品相對于探針做機械運動以測量表面高度，上述三坐標測量儀就是這類表面計員
應(yīng)用的理想例子。注意到.利用先進的三坐標測量儀也可以非常好地探測光學(xué)表
而.尤其是較大表面.使用三坐標測量儀是一個好主意。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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