點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報價--丨--

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正文:
用具有標(biāo)度尺的雙目顯微鏡或螺旋目鏡測微計測量徑跡蝕孔
的長度和直徑,所能達(dá)到的測量精度不高,一般只能測準(zhǔn)至1-2
μm左右.特別是在CR-39探測器問世以后,由于其性能優(yōu)良,
常規(guī)測量方法對測量精度的限制就顯得更為突出.利用激光干涉
儀,可以較大幅度地提高測量的精度。
這種測量方法的基本原理是,在顯微鈍的x軸和二軸上各裝
置一套激光干涉儀,利用多普勒效應(yīng),分別測定樣品與固定在顯微
鏈臺上的一塊直角反射鏡之間的相對運(yùn)動速度,以及顯微鏡臺與
安放目鏡的懸臂之間的相對運(yùn)動速度.再通過計算機(jī)對測得的速
度進(jìn)行積分,求出兩對物體之間的距離.這種方法對x軸和z軸
位置測定的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別可達(dá)0.19及0.5μm.
由于利用多普勒效應(yīng)測定運(yùn)動速度時,所比較的是出射的與
返回的激光信號的頻率,而不是它們的振幅,因此對激光的強(qiáng)度沒
有特殊的要求,而且也不受光路上塵埃等污染的影響.
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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