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標(biāo)題:待測(cè)表面輕微鍍鋁厚度測(cè)量用工具顯微鏡廠(chǎng)商

信息分類(lèi):站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2014-8-20 17:27:14 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

待測(cè)表面輕微鍍鋁厚度測(cè)量工具顯微鏡廠(chǎng)商

常規(guī)的位移條紋.在另外一些類(lèi)型中,可用干涉米增強(qiáng)象襯度

表面具有低反射率和高透射性,便可看到雙光束菲氏(Fizeau)干
涉條紋.參考表面可以是薄玻璃片(例如蓋板玻璃)或者是為適合
顯微鏡物鏡端部而設(shè)計(jì)的某種輔助裝置.更為完善的雙光束儀器
的優(yōu)點(diǎn)是:

用不著與被觀(guān)察表面緊密接觸的參考表面,可在放大倍數(shù)相當(dāng)?shù)?/div>
的情況下用來(lái)研究晶片表面的平整度

用雙光束儀器檢測(cè)平整度,大概直至其波長(zhǎng)的十分之一也有效。
為提高反射性而將參考表面和待測(cè)表面輕微鍍鋁時(shí),會(huì)產(chǎn)生多
次反射,線(xiàn)條變得敏銳了.如果十分細(xì)心的話(huà)就能夠把靈敏度
增加到5~10埃.

    還有一些利用干涉法以獲得象襯的方法,最簡(jiǎn)單的一種
方法是下述常規(guī)的相襯.然而,以偏振光顏色為基礎(chǔ)的更加精巧
的技術(shù)使用起來(lái)更令人滿(mǎn)意,它通常能給出強(qiáng)度更高的象來(lái).











出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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