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正文:
利用激光光點在工件表面反射測最粗糙度的方法有兩種,
一種是測量由于粗糙表面的傾斜而引起的反射角;另一種
是根據(jù)光點在祖糙表面反射時象點的變化來測最表面粗糙度。
前者稱反射角度測量法,后者稱光點位移測量法。此外
還有用激光光點做光切法測量的,經(jīng)過處理可以擴(kuò)大到二坐
標(biāo)的測量。用二坐標(biāo)排列的光電元件測量與表面粗糙度相對
應(yīng)的投射,并將投射象輸入工業(yè)用電視,再經(jīng)演算處理,即
可在加工中觀察表面粗糙度的二維形狀,還可以做硬拷貝。
當(dāng)入射光照射到被測工件表面上時,其反射光將射向熒
光屏,在
熒光屏上就會觀察到特殊的斑紋隨機圖形。如果入
射光的光束直徑與表面波形的波長比非常小,則反
射象不是隨機圖形,而呈點狀。此時反射象點的位
置取決于光的入射點處凹’凸表面傾斜角的大小,
因一此,測最反射象象點位置,就可以得出表面反
射傾斜角的大小(傾斜角的積分),從而便可以得出工件的表面粗糙度。
由實驗可知,對于波形完整的·、而且高頻振動占主導(dǎo)的表
面,測址的效果較好。如果不充分地縮小光束,反射象一般不
呈點狀,而是雜亂的。所以提出了光點位移測量法。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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