標(biāo)題：檢查非球表面的光學(xué)零件-檢定平面或球面光學(xué)顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-10-31 18:10:36
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正文:
檢查非球表面的光學(xué)零件-檢定平面或球面光學(xué)顯微鏡
檢查非球表面的光學(xué)零件，要求與通常檢定平面或球面一樣
的精度(0.1條干涉帶，或0.03微米)，這是很困難的，至今還
沒有很好解決.檢查相對(duì)孔徑很大，形狀又偏離球形很大的凸表
面特別復(fù)雜�，F(xiàn)在沒有，將來也未必會(huì)有這樣的一種干涉方法，
能適合于檢查齊種不同形狀的非球表面。也沒有一種萬能的干涉
方法，可以以特高精度檢查機(jī)械零件的復(fù)雜形狀。但是有一些千
涉方法和儀器，可以解決部分檢驗(yàn)任務(wù)，
檢查球面的玻璃樣板和干涉儀偏離球面形狀不太大(不超過5微米)的表面，
過5微米)的表面，可以采用球形玻璃樣板來檢查。把玻璃
樣板放在被檢表面上，調(diào)整樣板，直至獲得中心為暗斑的一組
單色光同心干涉環(huán)。
檢查任意表面形狀的方法檢查任意形狀的旋轉(zhuǎn)表面的可能
方法之一是采用補(bǔ)償物鏡。在干涉儀(例如邁克爾遜干涉儀)的
工作光路中，裝有被檢表面的零件和補(bǔ)償物鏡，此補(bǔ)償物鏡經(jīng)過
計(jì)算，使人射到它上面的平而波，變換成與被檢表面理論形狀相
同的波形。這時(shí)，從物鏡發(fā)出的全部光束沿法線方向射向被檢的
非球形表面。如果表面是理想的形狀，則經(jīng)原路返回的反射光
束，通過補(bǔ)償物鏡重新變換成平面波，并和參考平面波相于涉。
當(dāng)被檢表面與理想形狀有偏差，則可按干涉條紋的彎曲度測(cè)出實(shí)
際的表面形狀。
對(duì)補(bǔ)償物鏡提出的基本要求，是它的組成簡單，可以單塊分開
檢驗(yàn)，因?yàn)檎麄�(gè)補(bǔ)償物鏡通常有很大的計(jì)算像差，以致于不能對(duì)
它們進(jìn)行測(cè)最，因而也就不可能對(duì)物鏡裝配質(zhì)量進(jìn)行檢查。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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