標(biāo)題：6JA顯微鏡使用簡(jiǎn)單Rz參數(shù)值的范圍0 .8-0.5微米
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-11-10 1:56:31
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正文:
6JA顯微鏡使用簡(jiǎn)單Rz參數(shù)值的范圍0 .8-0.5微米
干涉顯微鏡是利用光波干涉原理設(shè)計(jì)的一種儀器。按其
工作原理可分為雙光束干涉顯微鏡和多光束干涉顯微鏡，應(yīng)
用較廣的是雙光束干涉顯微鏡，例如6J型和6JA型干涉顯微
鏡。它的特點(diǎn)是使用簡(jiǎn)單，屬輪廓瞬即轉(zhuǎn)換、非接觸式儀器。
小的表面。特別對(duì)極光的表面，用輪廓儀測(cè)量也適用時(shí)，可
用干涉顯微鏡。用干涉顯微鏡測(cè)量Rz參數(shù)值的范圍一般在
0 .8~0.5μm。
雙光束干涉顯微鏡的原理由光源發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡
投射到孔徑光闌4的平面上，照明位于物鏡前視場(chǎng)光闌。
通過(guò)照明物鏡的光線投射到分光鏡上被分成兩部分:一部分反射，
另一部分透射。從分光鏡反射的光線經(jīng)濾光片、物鏡射向工作表面，
然后再反射回來(lái)射向目鏡。在目鏡分劃板上兩束光產(chǎn)生明暗交替的
干涉條紋。若被測(cè)表面存在微觀不平度，則會(huì)出現(xiàn)一組彎曲的
干涉條紋，其相對(duì)彎曲度隨微觀不平度的大小而定。反射鏡
處于圖中位置時(shí)，干涉條紋即可通過(guò)照相物鏡，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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