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正文:
在適當(dāng)溫度下可以揮發(fā)的金屬化合物可以用來產(chǎn)生氣相
擴(kuò)散層。已經(jīng)知道在氣相中發(fā)生并導(dǎo)致形成擴(kuò)散層過程的兩
種形式:還原反應(yīng)(或置換反應(yīng))時(shí),析出活性元素及其沉積,
和含擴(kuò)滲元素化合物的熱裂解。
在第一種情況下,用鹵化物作活性元素來源,用現(xiàn)成的鹵
化物,或者以一定的工藝方法制成的鹵化物形成涂橙層。裝
在擴(kuò)散室中的鹵化物,可以進(jìn)行置換反應(yīng)、還原反應(yīng)或比例分
解反應(yīng),分解出活性元素.
在還原過程中,在盛氣態(tài)金屬鹵化鹽的室內(nèi)通入氫氣。也
可以用氯化氫或氯代替氫。但在后一種倩況下,當(dāng)違反氣體
規(guī)范時(shí),基體金屬表面出現(xiàn)腐蝕現(xiàn)象。有時(shí),基體金屬
在真空中先涂覆揮發(fā)的金屬薄膜。這種底層有利于以后從其
鹵化物蒸氣中進(jìn)行金屬沉積。
所有用現(xiàn)成金屬鹵化物進(jìn)行滲金屬的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和半工
業(yè)化設(shè)備中都有蒸發(fā)器、帶加熱裝置的氣密室、載體氣凈化系
統(tǒng)(還原劑)和廢氣排出系統(tǒng)。進(jìn)行氣相滲金屬一的典型周期式
設(shè)備
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北京顯微鏡百科
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