標(biāo)題：微裝配與微操作的特點(diǎn)是定位精度高-工業(yè)顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-1-12 1:15:12
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正文:
微裝配與微操作的特點(diǎn)是定位精度高-工業(yè)顯微鏡
機(jī)器人子系統(tǒng)
微裝配與微操作的特點(diǎn)是定位精度高，對(duì)于微米尺
寸的器件，它的定位精度要求達(dá)到納米量級(jí)。與傳統(tǒng)的
工業(yè)機(jī)器人相比，微裝配與微操作機(jī)器人有兩個(gè)顯著的
特點(diǎn):其一，機(jī)器人的自由度減少，通常為三個(gè)自由度，
即只有位置自由度而沒(méi)有姿態(tài)自由度。為了增加操作
的靈活性，一般用微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與機(jī)器人協(xié)作完成復(fù)雜的
操作。機(jī)器人與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的自由度總和為五個(gè)。對(duì)于
復(fù)雜的操作，也可以在機(jī)器人的末端增加一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由
度，使系統(tǒng)的自由度達(dá)到六個(gè)。在微裝配和微操作系統(tǒng)
中，本質(zhì)上是將機(jī)器人的多自由度進(jìn)行了分解，一部分
自由度由機(jī)器人完成，另一部分由運(yùn)動(dòng)平臺(tái)完成，從而
提高機(jī)器人和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度。所以在系統(tǒng)中，運(yùn)動(dòng)平
臺(tái)一般是必須的。其二，在機(jī)器人的設(shè)計(jì)中拋棄了傳統(tǒng)
的機(jī)械傳動(dòng)方式，也不用伺服電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，而是采用
壓電陶瓷或超聲電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)
的特點(diǎn)是精度高，可達(dá)到納米定位精
度，但它的缺點(diǎn)是行程小，一般采用蠕動(dòng)式機(jī)構(gòu)來(lái)克服這一問(wèn)題。
有的文獻(xiàn)中采用串一并聯(lián)的結(jié)構(gòu)形式設(shè)計(jì)機(jī)器人，串聯(lián)部
分采用傳統(tǒng)的傳動(dòng)方式，利用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，并聯(lián)部分采用并聯(lián)機(jī)構(gòu)，
利用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，這種結(jié)構(gòu)雖然能夠增加機(jī)器人的自由度，
增加了行程，但機(jī)構(gòu)復(fù)雜、控制困難，同時(shí)由于傳動(dòng)鏈長(zhǎng)，精度反而會(huì)下降。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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