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標(biāo)題:試樣的光學(xué)觀察及微動(dòng)實(shí)驗(yàn)測量工具顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2015-2-26 12:31:55 將本頁加入收藏

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正文:

試樣的光學(xué)觀察及微動(dòng)實(shí)驗(yàn)測量工具顯微鏡

設(shè)備與實(shí)驗(yàn)方法
    本實(shí)驗(yàn)采用的設(shè)備由以下幾部分組成: 
(1)電源及電子光學(xué)系統(tǒng),(2) X線分光及檢測系統(tǒng),
(3)試樣的光學(xué)觀察及微動(dòng)系統(tǒng),(4)X線強(qiáng)度測定及
記錄系統(tǒng),(5)電子掃描系統(tǒng)。

電源及電子光學(xué)系統(tǒng)
    由穩(wěn)定性非常高的3^50 kV的高壓發(fā)生裝置(常用的為
10^-30kV)、放射出熱電子的電子槍、限定入射電流量的會(huì)
聚透鏡、用以使試樣上的電子束直徑縮小到1 微米以下的物鏡
以及象散校正裝置等組成。另外,相對(duì)于試樣的電子束的入射
角為直角。

    使電一光學(xué)系統(tǒng)的電子束與陰極射線管的射線同時(shí)在
X-Y方向上掃描,通過標(biāo)識(shí)X線、電子束(反射及吸收)的強(qiáng)
度信號(hào),調(diào)諧陰極射線管的亮度,從而可以得到表面的情況。










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