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標(biāo)題:超精加工和軟金屬表面測(cè)量粗糙度輪廓儀

信息分類:站內(nèi)新聞   作者:yiyi發(fā)布   時(shí)間:2015-3-29 18:29:15 將本頁加入收藏

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正文:

超精加工和軟金屬表面測(cè)量粗糙度輪廓儀

    用來把觸針的位移量變成電流或電壓的傳感器有兩種
基本類型;

    微形貌圖儀——由于超精加工和軟金屬表面測(cè)量的需
要以及產(chǎn)生輪廓的儀器可以進(jìn)行分析的優(yōu)點(diǎn),致使人們?nèi)?/div>
探索一種非接觸式的輪廓測(cè)量?jī)x

    目前作者在研制一種形貌圖儀,這裝置利用宋一個(gè)事
實(shí),即在非?拷鼘(dǎo)電表面處安置一個(gè)尖銳的觸針,在相
對(duì)于表面具有一定的電位差情況下,放出場(chǎng)致發(fā)射電流,
它對(duì)于發(fā)射極和表面間和距離非常敏感。

    儀器粗調(diào)后,通過給壓電陶瓷元件施加電壓而產(chǎn)生運(yùn)
動(dòng),壓電陶瓷的長(zhǎng)度與驅(qū)動(dòng)電勢(shì)成正比地增加,發(fā)射尖端
半徑為10 -500nm 的場(chǎng)致發(fā)射體,通過X 和Y 方向的壓電
的驅(qū)動(dòng)裝置在試樣表面上掃描,一恒定電流流過發(fā)射體尖
端,在發(fā)射極表面建立起一個(gè)固定的電場(chǎng),由于被測(cè)表面
(試樣)靠近發(fā)射極。

    在實(shí)際運(yùn)行中,測(cè)得發(fā)射極到試樣之間的電壓并反饋
到伺服系統(tǒng),把適當(dāng)?shù)碾妷汗┙oZ 向壓電驅(qū)動(dòng)裝置并使發(fā)
射極到試樣到試樣的電壓保持恒定,這樣就使發(fā)射極至試
樣的間距保持不變,因此Z 向壓電陶瓷的電壓便直接和發(fā)
射極位置相對(duì)應(yīng),并且可用以測(cè)讀出輪廓。











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