標(biāo)題：光學(xué)顯微鏡檢驗產(chǎn)品或過濾面是測量粒子粒徑
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-6-23 1:08:28
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正文:
多數(shù)情況下這種輸入裝置是一個光學(xué)顯微鏡，檢驗大物體可用投
影系統(tǒng)，觀察小樣品可改用電子顯微鏡。圖像形成后，通過光導(dǎo)
攝像管掃描器產(chǎn)生象素，繼而成為電脈沖，然后將電脈沖送到邏
輯電路，再由電路提出有關(guān)參數(shù)的分析圖像。 適當(dāng)?shù)臋z出與一
定的灰色電平圖像、背景反差均有關(guān)。采用閾控制可獲得最好的
檢出。信息經(jīng)過分析，就可以原來的形式再次顯示在監(jiān)視器上。
同時，這種數(shù)據(jù)直接進入計算器、繪圖器以及其它的記錄／計算
裝置。
用這些儀器可測量粒子系列的任一種參數(shù)，最通用的參數(shù)是
長度的個數(shù)、面積和類型，其它參數(shù)包括形狀、光密度和周長。
自動圖像分析器是粒子檢驗的大型輔助設(shè)備，它的計數(shù)極其
精確。 目前，粒徑和面積的測量可以過去手工所不能完成的速
度重復(fù)進行�？罩辛Ｗ訙y量
雖然顯微鏡檢驗產(chǎn)品或過濾面是測量粒子污染最有效的方法
，但是，如不采用自動化，這些方法就既繁瑣，又浪費時間。光
散射粒子計數(shù)器的研制成功使瞬時測量成為可能，氣體的物質(zhì)粒
子含量降到0．3微米，液體降到2微米。當(dāng)然，由這類儀器所取
得的表面潔凈度的資料是第二手的。 可以這樣假設(shè)：如果產(chǎn)品
只是在潔凈環(huán)境中暴露，那么，從該環(huán)境落到產(chǎn)品表面的粒子數(shù)
為零。連續(xù)監(jiān)視產(chǎn)品周圍環(huán)境，對引起產(chǎn)品表面污染的環(huán)境潔凈
度進行瞬時識別。 光散射粒子計數(shù)器可對長時間特定位置作連
續(xù)自動監(jiān)視，所得數(shù)據(jù)的分析只是一項必要工作。由于光散射粒
子監(jiān)視器很重要，并且應(yīng)用廣泛，所以將詳細(xì)地討論這類設(shè)備。
對測量氣體中粒徑小于0．3微米的兩種儀器進行簡要評述。
光散射粒子計數(shù)器
傳感器基礎(chǔ) 光散射粒子傳感器是把粒子散射的光作為檢測
機理。這個概念是以奧·凱斯基等提出的米埃(Mie)理論和實驗
為基礎(chǔ)、 簡言之，在一定范圍內(nèi)單個粒子的散射光與粒徑的平
方成正比。市場供應(yīng)的儀器都是利用強光燈的光束，它是聚焦在
暗室
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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