標(biāo)題：用電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研究表面缺陷對(duì)膜層結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-16 13:35:30
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正文:
用電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研究表面缺陷對(duì)膜層結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
發(fā)若干年來(lái)，已有大量文章對(duì)粗糙度表面的反射作了研究，量?jī)H
僅在近十年內(nèi)，才應(yīng)用衍射理論對(duì)其作了高度嚴(yán)格的研究，有關(guān)表
面粗糙度的大量工作，過(guò)去多是從研究玻璃拋光機(jī)理的角度來(lái)研究
的；所用的光學(xué)方法僅是評(píng)價(jià)粗糙度的一種間接手段，這些理論研
究結(jié)果量也是可用對(duì)前表面反射鏡進(jìn)行質(zhì)量評(píng)論，但直至最近，對(duì)
于各相鄰膜層間可能形成的粗糙表面的影響，卻末給予足夠重視，
唯一認(rèn)識(shí)到的是，基片表面粗糙度會(huì)在膜系各界面復(fù)現(xiàn)出來(lái)，以致
于因漫射而損壞膜系的性能，最近，根舍用掃描電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)研
究了其片表面缺陷對(duì)膜層性能的影響，發(fā)現(xiàn)多層膜與單層膜中出現(xiàn)
許多結(jié)核瘤，究其原因均系表面粗糙度所致，在結(jié)核瘤處，表面不
是有微痕麻點(diǎn)坑，便是有突疣，這表明基片表面的精細(xì)拋光對(duì)提高
膜系的全面性能是至關(guān)重要的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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