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正文:
顯微鏡檢測(cè)勻速運(yùn)動(dòng)的物體可大大提高檢測(cè)精度
補(bǔ)償物體位移的光學(xué)系統(tǒng)
在檢測(cè)勻速運(yùn)動(dòng)的物體時(shí),一般要對(duì)物體的尺寸進(jìn)行快速
“定影”,以消除圖象邊界模糊,這可以利用機(jī)械或電子脈沖曝光
來(lái)簡(jiǎn)單地達(dá)到這一目的,但這時(shí)由于曝光時(shí)間太短,可能使信雜
比小到不能容許的程度。如果采用光學(xué)補(bǔ)償位移,使物體的某一
部分圖象停留一個(gè)短暫的時(shí)間,然后再突然轉(zhuǎn)向圖象的下一部分,
以此來(lái)延長(zhǎng)曝光時(shí)間。
通常是用旋轉(zhuǎn)棱鏡來(lái)達(dá)到光學(xué)補(bǔ)償?shù)哪康,為此,將旋轉(zhuǎn)棱
鏡安裝在被攝物體和物鏡之間,這能將物體的圖象
向與該物體運(yùn)動(dòng)方向相反的方向作周期性的移動(dòng),從而達(dá)到使圖
象停留一段時(shí)間的目的。
離散圖象的光學(xué)系統(tǒng)
在用視頻法
測(cè)量物體尺寸時(shí),由于存在著掃描的非線性、光
柵幾何畸變和光柵尺寸的變化,因而影響了檢測(cè)精度的提高,使
得不能把測(cè)量誤差降低到被掃描尺寸的1~2%以下。但是如果在
掃描圖象之前,先對(duì)圖象進(jìn)行光學(xué)離散(把圖象分解成許多個(gè)同