標題：檢測產品上或電路參數工藝便攜金相顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-27 16:00:43
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正文:
檢測產品上或電路參數工藝便攜金相顯微鏡
器件評價模型化
對任何工藝控制系統(tǒng)的最關鍵和最嚴格的要求之一，是將
數據隨同器件與電路參數之間的相互關系反饋給工藝流程。必
須留出一定的余量，以把由隨后的工藝步驟所引起的變化考慮
進去。例如后期擴散對時間和溫度的要求改變了早期擴散的雜
質分布。換言之，必須有一種使工藝變量和參數同最后的器件
模型相互關聯(lián)的方法
關鍵電學參數是從硅片的各部分獲得的，然后取同一批硅
片或生產班次中的平均值。從性能要求和可能達到的成品率角
度分析該數據，并將其反饋給設計工程師，以供將來設計時考慮。
最后電氣測試
由于本工序要完全篩選掉在前面硅片生產和裝配加工過程
中所產生的全部電氣上不合格的廢管，因此需要一個完整的加
工過程中的質量控制系統(tǒng)：具有樣品測試、操作人員檢查和機
器檢查。
為補充加工過程中的質量控制工作，質量控制和(或)產品
工程常進行最后的廢管測試分析，以檢測產品上或工藝上的問
題，從而將結果反饋給設計、加工或裝配小組以采取改進措施。
定期校準測試設備是一個十分重要的工藝控制步驟，在測
試規(guī)范中列出了允許的校準誤差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科