標(biāo)題：測(cè)試設(shè)備中使用顯微鏡檢查管芯中結(jié)的缺陷
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-27 21:53:57
將本頁(yè)加入收藏
下一篇：測(cè)量熱導(dǎo)率的方法,測(cè)量金屬熱導(dǎo)率用的儀器金相顯微鏡
上一篇：硅片工藝加工適合使用(80倍至400倍)垂直照明顯微鏡目檢
點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--
---
---
---
正文:
測(cè)試設(shè)備中使用顯微鏡檢查管芯中結(jié)的缺陷
由于大量生產(chǎn)中使用的金屬層的硬度較低，只要放錯(cuò)位置，探針
頭產(chǎn)生的壓力就會(huì)引起損傷。
在生產(chǎn)過(guò)程的探針測(cè)試中，務(wù)必使探針頭保持干凈以保證
良好的歐姆接觸。清洗辦法是將蘸過(guò)TaE(三氯乙烯)的棉花
簽擦洗探針頭。
成品電路的探針測(cè)試常使用具有多頭探針的探針臺(tái)。探針
頭的位置與某一特定電路的熱壓點(diǎn)位置相吻合。這些探針臺(tái)可
節(jié)省調(diào)節(jié)時(shí)間，性能可靠，對(duì)電路的損傷最小，并可由操作人員
迅速地加以改變。
探針測(cè)試設(shè)備中使用兩種基本的顯微鏡。一種是僅顯示管
芯上金屬化圖形的標(biāo)準(zhǔn)雙筒顯微鏡；另一種是尚能觀察到結(jié)結(jié)
構(gòu)的金相型垂直照明雙筒顯微鏡。后者的優(yōu)點(diǎn)是，在探針測(cè)試
過(guò)程中操作人員能檢查管芯中結(jié)的缺陷。這兩種顯微鏡的工作
距離應(yīng)均為3至4英寸(8至10厘米)。
探針頭
探針頭有幾個(gè)關(guān)鍵尺寸要求。第一，探針頭的半徑必須小
到足以能探測(cè)氧化層內(nèi)0．4X0．4密耳(10×10微米)的窗口；
第二。探針棒應(yīng)細(xì)到足以使相鄰探針的間距在1或2密耳(25
至50微米)之內(nèi)；第三，當(dāng)探針以適當(dāng)壓力壓在半導(dǎo)體材料上
時(shí)，探針頭必須形成歐姆接觸；最后，探針頭應(yīng)是耐磨的。
探針通常由高級(jí)鋼材(鋼琴弦)或鎢制成。探針既可是細(xì)鎢
絲也可是細(xì)鋼絲(25密耳／0．6毫米)，以承受某些彈簧負(fù)荷。探
針頭可用磨削、腐蝕或焊槍熔融等方法來(lái)成形}鎢棒一般是磨
赳形成探針頭的。若要使針頭極細(xì)(針頭半徑最小)，可采用腐
蝕法。腐蝕設(shè)備一般采用浸泡操作，以使探針頭加工成細(xì)錐形。
探針頭應(yīng)一直腐蝕到使它的最大半徑小于0．0002英寸。
探針材料的選擇應(yīng)滿足獲得歐姆接觸的要求。按定義，歐
姆接觸是“在不影響器件有效特性的情況下，為進(jìn)出半導(dǎo)體材料
提供電流通路”的一種接觸。接觸在電學(xué)與力學(xué)上都必須是穩(wěn)
定的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7250.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商