標(biāo)題：用600倍金相顯微鏡亮場(chǎng)及暗場(chǎng)觀察金屬失效分析
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-9-28 17:16:06
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正文:
失效分析方法
一般的分析程序
失效分析過(guò)程中，每一步基本都是一次性質(zhì)，不能重復(fù)再來(lái)。
所以應(yīng)十分小心，防止將真正的失效原因弄掉或帶進(jìn)新的失效因素
失效現(xiàn)象 250℃，500小時(shí)加速壽命試驗(yàn)后，10支失效器件
失效分析
1)常溫下測(cè)試，分別記錄。
2)封裝檢漏，全部沒(méi)發(fā)現(xiàn)粗漏。
3)打開(kāi)管殼。
色變暗。用600倍金相顯微鏡亮場(chǎng)及暗場(chǎng)觀察沒(méi)發(fā)現(xiàn)異常。
5)劃斷鋁互連用探針測(cè)試管芯，發(fā)現(xiàn)較大的溝道電流。
6)將管芯用有機(jī)溶劑及去離子水清洗并真空烘干。測(cè)管芯，溝道
電流仍然存在。證明漏電不是因外表面沾污或凝聚氣體造成的。
7)去掉鋁膜(用稀硫酸煮)用去離子水沖凈，烘干。測(cè)管芯，溝道
電流仍存在?
8)去掉二氧化硅鈍化膜(用氫氟酸腐蝕)，用去離子水沖凈，烘干
。測(cè)管芯，溝道電流消失。
9)判斷這些器件失效是因?yàn)槎趸鑳?nèi)鈉離子沾污引起的溝道電
流。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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