標(biāo)題：斷面的表觀厚度會(huì)隨對(duì)比度和亮度樣品分析顯微鏡
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-5-7 20:36:16
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正文:
斷面的表觀厚度會(huì)隨對(duì)比度和亮度樣品分析顯微鏡
將光束射至覆層，由覆層和基體表面反射的光又射至接收反光
鏡，從接收反光鏡反射出來(lái)的光，通過(guò)透射窗經(jīng)偏振器、透鏡、
光譜裝置最后由記錄儀器進(jìn)行顯示。通過(guò)記錄儀器的電信號(hào)的控
制，可以在達(dá)到規(guī)定的覆層厚度時(shí)自動(dòng)關(guān)斷沉積的進(jìn)行．
掃描電子顯微鏡覆層厚度測(cè)量
掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)稱(chēng)掃描電鏡。掃描電鏡是用電子束來(lái)代替
光源，可以得到波長(zhǎng)極短的“照射光源”，利用電子束制成的掃
描電子顯微鏡具有極高的放大倍數(shù)和極高的分辨率，因而越來(lái)越
得到廣泛的應(yīng)用。
射向被測(cè)試件表面。
為了避免電子束在鏡簡(jiǎn)里與空氣分子發(fā)生碰撞而引起電子散
射，整個(gè)電子光學(xué)系統(tǒng)必須保持足夠的真空，通常專(zhuān)配置排氣泵
(擴(kuò)徽泵和機(jī)械泵)來(lái)保證。
從電子槍射出來(lái)的電子束經(jīng)過(guò)電磁會(huì)聚透鏡，將電子柬斷面
縮小，在電磁透鏡中還裝有X y偏轉(zhuǎn)線圈進(jìn)行二維掃描，經(jīng)電磁
透鏡會(huì)聚的電子不斷在試樣被測(cè)區(qū)進(jìn)行掃描測(cè)試，由試樣發(fā)射的
二次電子經(jīng)閃爍探測(cè)器接收；在經(jīng)過(guò)放大之后再加到顯像管，由
于顯像管偏轉(zhuǎn)線圈和掃描電子顯微鏡鏡筒偏轉(zhuǎn)線圈的掃描電流嚴(yán)
格同步，所以探測(cè)器逐點(diǎn)探測(cè)二次電子信號(hào)將一對(duì)應(yīng)地調(diào)制顯
像管相應(yīng)點(diǎn)的亮度，產(chǎn)生覆層和基體的斷面圖像。
在顯示覆層斷面圖像時(shí)，斷面的表觀厚度會(huì)隨對(duì)比度和亮度
的設(shè)定而變，當(dāng)放大倍數(shù)不變，這種厚度變化也可能還比較大．
為了減小測(cè)量的不確定度，通常對(duì)對(duì)比度和亮度的設(shè)定應(yīng)讓圖像
顯示出每一邊界表面的細(xì)節(jié)部分。
在測(cè)量中，放大倍數(shù)會(huì)隨時(shí)間發(fā)生變化，因而儀器的校正要
在測(cè)量前后的短暫時(shí)間內(nèi)進(jìn)行。在保證校正條件的放大倍數(shù)不變
的情況下，可采取多點(diǎn)取平均值的方法，以便得出較準(zhǔn)確的實(shí)際
覆層厚度．
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8369.html
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