標(biāo)題：測量范圍和測量精度是選擇CCD的依據(jù)-工業(yè)顯微鏡CCD
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-12 13:13:28
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正文:
CCD器件的選擇與相關(guān)設(shè)計
測量范圍和測量精度是選擇CCD的主要依據(jù)。
不同微機械器件高度尺寸范圍的差別很大(約1～300 微米)，
所對應(yīng)的測量精度也不同。被測件的尺寸較大時，CCD可以直接
放在聚光物鏡的成像焦面上。尺寸很小時，
為滿足高的測量精度要求，聚焦物鏡首次成像后還需后續(xù)一個二
次像放大環(huán)節(jié)。此時CCD應(yīng)放置在二次放大的成像面上。
選擇CCD的分辨率主要依據(jù)測量精度，而測量精度又與顯微
鏡總的放大倍率有關(guān)。
圖像測量系統(tǒng)的構(gòu)成
1．掃描模塊及機械掃描結(jié)構(gòu)
線陣CCD的分辨率較面陣高，更多用于測量。線陣CCD本身
具有一維自掃描特性，但用它獲取二維圖像，需要輔助的掃描處
理。即y向通過線陣CCD自身電掃描完成，X向須由機械掃描保
證。
掃描機構(gòu)可設(shè)計如下：計算機控制步進電機帶動精密絲杠轉(zhuǎn)
動，與絲杠外螺母相連的滾珠導(dǎo)軌滑塊帶動CCD作X向直線運
動。CCD初始位置通過微調(diào)結(jié)構(gòu)可進行精密調(diào)整，以保證掃描面
與成像面重合。采用彈性雙螺母結(jié)構(gòu)消除絲杠與導(dǎo)軌的軸向間隙
以提高傳動精度。絲杠的螺距誤差、同軸度誤差及導(dǎo)軌直線度跳動
誤差通過精密加工保證。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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