標(biāo)題：被測(cè)物體表面粗糙度-工件外形的宏觀幾何構(gòu)造
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-5-18 12:41:38
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正文:
被測(cè)物體表面粗糙度-工件外形的宏觀幾何構(gòu)造
參考面接觸探測(cè)系統(tǒng)
在非滑動(dòng)系統(tǒng)中，探針位于探測(cè)器臂的尾部，探測(cè)臂在被測(cè)物體
表面的上方導(dǎo)向，并在垂直方向保持線性導(dǎo)向。探針?lè)�(wěn)定地連接在位
于進(jìn)給機(jī)構(gòu)的參考表面。表面粗糙度引起的探針漂移，被傳輸?shù)阶儞Q
器，并且根據(jù)變換器的類型，將其轉(zhuǎn)換成模擬或數(shù)字形式的測(cè)量信號(hào)
。該測(cè)量只有探針本身向被測(cè)物體表面滑動(dòng)。由于這個(gè)原因，非滑動(dòng)
系統(tǒng)對(duì)于振動(dòng)非常靈敏。
滑動(dòng)系統(tǒng)
滑動(dòng)系統(tǒng)用測(cè)量表面作為引導(dǎo)，并且有比非滑動(dòng)系統(tǒng)較小的尺寸
。探針通過(guò)滑動(dòng)接觸被測(cè)物體表面，并且根據(jù)探針頂端滑過(guò)的路徑，
獲得表面外形。根據(jù)測(cè)量項(xiàng)目，著陸滑動(dòng)器架裝在前面、后面或探測(cè)
器頂端的側(cè)面。在著陸滑動(dòng)器和探測(cè)器頂端之間有不可避免的距離，
這將導(dǎo)致在傳送工件表面外形時(shí)會(huì)引起失真，這取決于被測(cè)工件表面
性質(zhì)。然而，它是不精確的，因?yàn)楫?dāng)滑過(guò)工件表面時(shí)，發(fā)生機(jī)械過(guò)濾
�；瑒�(dòng)器作為獨(dú)立振幅，非線性，高通濾波器，依據(jù)探針和工件的幾
何構(gòu)造，消除了工件外形的宏觀幾何構(gòu)造和波度。此系統(tǒng)用于對(duì)產(chǎn)品
的快速測(cè)量。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8411.html
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