標(biāo)題：測(cè)淀積溫度應(yīng)用兩種類(lèi)型的溫度計(jì)：高溫計(jì)和熱電偶
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-5-26 21:37:58
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正文:
測(cè)淀積溫度應(yīng)用兩種類(lèi)型的溫度計(jì)：高溫計(jì)和熱電偶
測(cè)淀積溫度，主要應(yīng)用兩種類(lèi)型的溫度計(jì)：高溫計(jì)和熱電偶。
高溫計(jì)
根據(jù)定義，高溫計(jì)是一個(gè)用于高溫測(cè)量的溫度計(jì)。此溫度
計(jì)一般用于淀積室，監(jiān)測(cè)淀積溫度。為了描述所關(guān)注的不同點(diǎn)的凈
溫度，幾個(gè)這樣的傳感器可以安裝在涂層裝置內(nèi)。不管對(duì)于整個(gè)生
產(chǎn)還是對(duì)于試驗(yàn)工廠，高溫計(jì)都是節(jié)省成本和較靈敏的解決方案，
對(duì)于在原位、無(wú)接觸、非破壞性的監(jiān)測(cè)，高溫計(jì)是可靠的工具。高
溫計(jì)可以作為模擬或數(shù)字傳感器，其具有與積分?jǐn)?shù)據(jù)獲取系統(tǒng)相連
接的基本結(jié)構(gòu)。
熱電偶
除了壓力測(cè)量外，用熱電偶也能進(jìn)行非常精確的溫度測(cè)量
，當(dāng)兩個(gè)不同的金屬導(dǎo)線連接成一個(gè)線圈，并且兩個(gè)連接點(diǎn)有不同
的溫度時(shí)，會(huì)在熱電偶內(nèi)產(chǎn)生一個(gè)非常小的電壓差(用毫伏計(jì)測(cè)量)
。既然電壓依靠連接點(diǎn)的溫度不同，其中一個(gè)點(diǎn)的溫度必須保持已
知。否則，電子補(bǔ)償線圈必須作為這個(gè)裝置的組成部分來(lái)測(cè)量傳感
器的實(shí)際溫度。當(dāng)提供電子絕緣和密封時(shí)，設(shè)計(jì)特殊的電子裝置來(lái)
傳送熱電偶儀器的信號(hào)。
涂層過(guò)程控制中的氣體分析器
對(duì)于涂層過(guò)程監(jiān)測(cè)的一個(gè)非常重要的參數(shù)是過(guò)程殘余氣體
的分析和控制。在這種方法中，應(yīng)用以前的經(jīng)驗(yàn)，當(dāng)選定的氣體規(guī)
格超出預(yù)定的限制時(shí)，操作者通過(guò)報(bào)警器得到警告。結(jié)果可以避免
，系統(tǒng)的停工以及質(zhì)量低劣的產(chǎn)品。在PVD涂層過(guò)程中必須控制的
氣體數(shù)據(jù)如下：
·基本壓力組成；
·氣體純度／組成；
·反應(yīng)氣體的分壓力。
對(duì)于氣體分析，應(yīng)用一個(gè)所謂的四極質(zhì)譜儀。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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